2026-08-12
सेमीकंडक्टर को पतली फिल्मों की आवश्यकता क्यों होती है?
एक एकल चिप, सार रूप में, सैकड़ों पतली-फिल्म परतों के सटीक स्टैकिंग द्वारा गठित एक त्रि-आयामी संरचना है।
प्रत्येक परत एक विशिष्ट कार्य करती है:
| पतली फिल्म का प्रकार |
कार्य |
विशिष्ट सामग्री |
| संवाहक परत | विद्युत प्रवाह का संचालन करें और उपकरणों को कनेक्ट करें | Al, Cu, W, TiN |
| इन्सुलेशन परत | सर्किट को अलग करें और विद्युत रिसाव को रोकें | SiO₂, SiN, Low-k |
| बाधा परत | प्रसार को रोकें और विश्वसनीयता में सुधार करें | TaN, TiN, W |
| गेट सामग्री | डिवाइस स्विचिंग को नियंत्रित करें | Poly-Si, Metal Gate |
| पैसिवेशन परत | सतह की रक्षा करें और स्थिरता बढ़ाएं | SiN, SiON |
| ढांकता हुआ परत | कार्यों को साकार करने के लिए विद्युत आवेश संग्रहीत करें |
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सेमीकंडक्टर पतली फिल्म प्रौद्योगिकी
फिल्म कैसे बनती है?
1. सामग्री स्रोत: ठोस लक्ष्य, गैसीय अभिकारक या रासायनिक अग्रदूत;
2. परिवहन: प्लाज्मा, वैक्यूम, वाहक गैस या प्रसार के माध्यम से;
3. सतह प्रतिक्रिया: वेफर सतह पर भौतिक अधिशोषण या रासायनिक प्रतिक्रिया होती है;
4. न्यूक्लिएशन और विकास: न्यूक्लिएशन के लिए परमाणु एकत्रीकरण, द्वीप विकास, निरंतर फिल्म निर्माण और सघनता;
5. फिल्म निर्माण: बढ़ती मोटाई, सघन संरचना और स्थिर सूक्ष्म संरचना के साथ एक पतली फिल्म बनाएं।
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